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IB-09060CIS? 低溫冷凍離子切片儀

IB-09060CIS? 低溫冷凍離子切片儀

易受熱損傷的樣品,也能方便地制作出薄膜樣品和截面樣品。冷卻保持時間長,有效地抑制了熱損傷。

詳細介紹

  • 帶有樣品冷卻系統(tǒng),對容易受熱損傷的樣品也可以進行截面制備的離子切片儀。

  • ①通過液氮制冷,減輕了離子照射時對樣品造成的熱損傷。

  • ②可以用于制備TEM的薄膜樣品和SEM的截面樣品*

  • ③冷卻保持時間長,大大減少了熱損傷。

  • ④在裝有液氮的情況下,也可以交換樣品。

  • *最大樣品尺寸:2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度)。

  • 產品規(guī)格


IB-09060CIS
離子加速電壓1 ~ 8kV
傾斜角最大±6o(0.1o/步)
離子束直徑500μm(FWHM)
研磨速率5μm/min(加速電壓:8kV、Si換算)
使用氣體氬氣
最大樣品尺寸2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度)
樣品冷卻樣品架冷卻溫度-120℃
冷卻到達時間1小時
冷卻保持時間8小時
樣品取出時間30分鐘
壓力測試潘寧規(guī)
主抽真空系統(tǒng)渦輪分子泵
CCD相機內置
尺寸 重量主機500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg
機械泵150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg
液晶顯示器326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg


  • 安裝條件


IB-09060CIS
電源單相100 ~ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ~ 0.6kVA
接地線獨立地線(100Ω以下)
氬氣使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ~ 2.0kg/cm2)
純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調壓器由客戶自備)
金屬配管連接口:JISB0203 RC1/8
室溫20 ~ 25℃
濕度60% 以下
  • *產品外觀及技術規(guī)格可能未經預告而有所變更。