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EM-09100IS 離子切片儀

EM-09100IS 離子切片儀

用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER樣品制備的創(chuàng)新方法 離子切片儀制備薄膜樣品比傳統(tǒng)制備工具快速、簡單。低能量、低角度(0°到6°)的氬離子束通過遮光帶照射樣品,大大降低了離子束對樣品的輻照損壞。即使是柔軟的材料,制備的薄膜質(zhì)量

詳細(xì)介紹

  • 用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER樣品制備的創(chuàng)新方法

  • 離子切片儀制備薄膜樣品除了需要將樣品切成矩形薄片外,不需要溶劑或化學(xué)試劑及前處理(打磨或凹坑研磨),比傳統(tǒng)制備工具快速、簡單。低能量、低角度(0°到6°)的氬離子束通過遮光帶照射樣品,大大降低了離子束對樣品的輻照損壞。即使是柔軟的材料,制備的薄膜質(zhì)量也極好,對不同成份的樣品甚至含有多孔合成物也都能夠有效制備。

  • 主要特點(diǎn):

  • 高質(zhì)量的透射電鏡樣品的前處理

  • 快速制備

  • 無需復(fù)雜的前處理

  • 最小限度的表面損傷

  • 產(chǎn)品規(guī)格


EM-09100IS
離子加速電壓1 ~ 8kV
傾斜角Up to 6°(0.1°/步)
離子束直徑500μm(FWHM)
Milling rate5m/min (加速電壓:8 kV, Si換算) 
使用氣體氬氣
最大樣品尺寸2.8mm(長度)×0.5 mm(寬度)×0.1mm(厚度)
壓力測試潘寧規(guī)
主抽真空系統(tǒng)渦輪分子泵
CCD相機(jī)內(nèi)置
尺寸 重量主機(jī)500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg
機(jī)械泵150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg
液晶顯示器326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg


  • 安裝條件


EM-09100IS
電源單相,  AC100 ~ 120V, 50/60Hz, 500 ~ 600VA
接地線獨(dú)立地線(100Ω以下)
氬氣使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ~ 2.0kg/cm2)
氬氣流量:約0.2立方厘米
純度: 99.9999%以上 (氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備)
金屬配管連接口:JISB0203 RC1/8
室溫20 ~ 25℃(fluctuation: 1°C/hor less變動(dòng)少于1°C/h)
濕度60% 以下
  • *請?zhí)峁┌卜旁O(shè)備的桌子。

  • *產(chǎn)品外觀及技術(shù)規(guī)格可能未經(jīng)預(yù)告而有所變更。