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JSM-IT800 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-IT800 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-IT800具備高分辨觀察和高速元素面分析，能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍、新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine、一體化EDS、易用的操作導(dǎo)航SEM Center、及可置換的物鏡模塊。

詳細介紹

主要特點

■ 視頻介紹

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主要參數(shù)

JSM-IT800　SHLversion

JSM-IT800　HLversion

分辨率 (1 kV)

0.7nm

1.3nm

分辨率 (15 kV)

0.5nm

-

分辨率 (20 kV)

-

0.7nm

加速電壓

0.01   - 30 kV

檢測器

二次電子檢測器（SED）

二次電子檢測器（SED）

高位混合檢測器（UHD）

高位電子檢測器（UED）

電子槍

浸沒式schott-plus場發(fā)射電子槍

入射電流

數(shù) pA - 500   nA (30 kV)

數(shù) pA - 300   nA (30 kV)

數(shù) pA - 100   nA (5 kV)

數(shù) pA - 100   nA (5 kV)

物鏡

超級混合物鏡SHL

混合物鏡HL

樣品臺

全對中馬達驅(qū)動樣品臺

樣品臺行程

X:   70 mm， Y: 50 mm， Z:    2～41 mm，傾斜：-5～70o， 旋轉(zhuǎn)：360o

EDS能譜儀

能量分辨率133eV以下， 檢測元素B-U， 60mm2大面積檢測器


主要的選配件

  • 高位電子檢測器 (UED)

  • 背散射電子檢測器 (BED)

  • 閃爍體背散射電子檢測器（SBED)

  • 多用途背散射電子檢測器（VBED)

  • 透射電子檢測器（TED)

  • 低真空 （含低真空背散射電子檢測器LVBED)

  • 低真空二次電子檢測器 (LVSED)

  • 電子背散射衍射 (EBSD)

  • 波譜儀 (WDS)

  • 軟X射線分光器 (SXES)

  • 探針電流檢測器

  • 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)

  • 樣品室相機

  • 操作桌

  • 操作面板

  • LIVE-AI過濾器ー

  • SMILE VIEW? Map