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JSM-IT700HR InTouchScope? 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

日常使用的SEM，好用！該設(shè)備最高分辨率1nm、最大探針電流300nA（之前的15倍），可提供豐富的觀測和分析信息，用戶界面操作簡單、設(shè)計(jì)緊湊、配備大樣品室。

■ 主要參數(shù)

分辨率	高真空模式：1.0 nm (20 kV)　3.0 nm (1.0 kV)，分析時(shí)：3.0 nm (15 kV　入射電流 3 nA)，低真空模式：1.8 nm (15 kV　BED)
放大倍率	×5 ～ ×600,000
電子槍	浸沒式熱場發(fā)射電子槍
加速電壓	0.5 kV ～ 30 kV
入射電流	數(shù)pA ～ 300 nA
低真空范圍	10 Pa ～ 150 Pa
最大樣品尺寸	200 mm直徑×75 mm高、200 mm直徑×80 mm高 ^※1、32 mm直徑×90 mm高 ^※2
樣品臺(tái)	全對中，X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm 傾斜：－10 ～ 90°　旋轉(zhuǎn)：360°
OS、顯示器	Microsoft^? Windows^?10 64bit， 23.8”觸摸型
真空系統(tǒng)	全自動(dòng)TMP：1臺(tái)　SIP：2臺(tái)　RP：1臺(tái)