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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
廣受好評的JSM-7610F的光學系統(tǒng)經(jīng)過改進，實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式
詳細介紹
二次電子像分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） | ||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） | ||
加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | ||
探針電流 | 數(shù) pA ～ 200 nA | ||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡（CL）、 最佳光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） | ||
樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅(qū)動 | ||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測器 | ||
自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié) | ||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | ||
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室／中間室 SIP 離子泵 | ||
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