JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System），無(wú)論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。此外，保證300nA的最大束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實(shí)的自動(dòng)功能和易用性，是新一代的多功能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。

＜特點(diǎn)＞

JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測(cè)器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號(hào)的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）；電磁場(chǎng)疊加的混合式物鏡。

浸沒(méi)式肖特基電子槍

浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍為日本電子的專利技術(shù)，通過(guò)對(duì)電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號(hào)選擇的系統(tǒng)。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過(guò)給樣品加以偏壓，對(duì)入射電子有減速、對(duì)樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。 
此外，利用安裝在TTLS的能量過(guò)濾器過(guò)濾電壓，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測(cè)量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測(cè)器（UED）就可以只獲取來(lái)自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過(guò)濾電壓用UED沒(méi)有檢測(cè)出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測(cè)器（USD，選配件）檢測(cè)出來(lái)，因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像。

混合式物鏡（電磁場(chǎng)疊加）

JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開(kāi)發(fā)的混合式透鏡。 
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場(chǎng)疊加型物鏡，比傳統(tǒng)的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。

應(yīng)用實(shí)例

◇ 利用混合式物鏡、GB（Gentle Beam 模式）進(jìn)行觀察的實(shí)例

利用低像差的混合式物鏡和GB 模式，即使對(duì)不導(dǎo)電樣品也能在極低的加速電壓下進(jìn)行高分辨率成像。

樣品: 介孔二氧化硅 （中國(guó)上海交通大學(xué)車順愛(ài)教授）

◇ 使用高位檢測(cè)器（ＵＥＤ）、能量過(guò)濾器進(jìn)行觀察的實(shí)例

下圖是利用UED在低加速電壓條件下獲得的背散射電子像。由于是大角度散射電子成像，成份信息非常豐富，但加速電壓為0.8kV比在5kV時(shí)的測(cè)試，能獲得更細(xì)微的淺表面信息。象這樣在極低加速電壓下要獲取樣品淺表面的背散射電子成份像，不僅需要高位檢測(cè)器，還需要用來(lái)去除二次電子的能量過(guò)濾器。

樣品：鍍金表面,   能量過(guò)濾器： -250 V 

主要選配件

可插拔式背散射電子探頭（RBED）

高位二次電子探頭（USD）

低真空二次電子探頭（LV-SED）

能譜儀（EDS)

波譜儀（WDS）

電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD)

陰極熒光系統(tǒng)（CLD）

樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）

電子束曝光系統(tǒng)