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BS-80020CPPS等離子體源
BS-80020CPPS是用于輔助低溫（100℃以下等）下塑料基板和膠片成膜的等離子體源
詳細(xì)介紹
| 最大放電輸出 | 3.2kW (160V, 20A) |
| 最大輔助輸出功率 | 2kW (200V, 10A) |
| 工作壓力 | 8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛) |
| 放電氣體(Ar) | 8 ～ 20mL/分 |
| 適用控制電源 | BS-92040CPPC |
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