“NEOARM” 標(biāo)配了日本電子獨(dú)自開發(fā)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍（Cold-FEG）和全新的高階球差校正器（ASCOR）。無(wú)論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下，均能實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率的觀察與分析。同時(shí)還配備了自動(dòng)像差校正系統(tǒng)，采用日本電子獨(dú)自開發(fā)的像差校正算法，可以自動(dòng)進(jìn)行快速準(zhǔn)確的像差校正。由此實(shí)現(xiàn)了高通量的原子級(jí)分辨率成像。此外，新型STEM檢測(cè)器不依賴于加速電壓就可以獲得高襯度的輕元素圖像。因此，利用能增強(qiáng)輕元素襯度的新STEM成像技術(shù)（e-ABF法）可以更加簡(jiǎn)便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰（襯度）圖像。

為了響應(yīng)近來(lái)已成為主流的遠(yuǎn)程操作的需求，NEOARM的電鏡室和操作室實(shí)行了分離式，主機(jī)使用了JEOL的新概念顏色—純白色和JEOL銀色，設(shè)計(jì)精煉時(shí)尚。

主要特點(diǎn)： 

◇ 球差校正器ASCOR（Advanced STEM Corrector）

“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差（即6重像散，目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的最大障礙。），ASCOR和Cold-FEG的完美組合實(shí)現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。

◇ 自動(dòng)像差校正軟件JEOL COSMO?（Corrector System Module）

JEOL COSMO?采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比，JEOL COSMO?能夠高速處理數(shù)據(jù)，并且使操作進(jìn)一步自動(dòng)化。因此，客戶在工作流程中可以簡(jiǎn)便高效地進(jìn)行高分辨率觀察及各種元素分析。

◇ 新ABF（Annular Bright Field）檢測(cè)器系統(tǒng)

ABF檢測(cè)器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用?！癗EOARM”支持能增強(qiáng)輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)（e-ABF：enhanced ABF），實(shí)現(xiàn)了對(duì)含有輕元素樣品的原子級(jí)結(jié)構(gòu)的觀察。

◇ Perfect sight檢測(cè)器

STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測(cè)器作為混合檢測(cè)器，采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測(cè)器具有極佳的寬電壓適應(yīng)性，不依賴于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像，并可用于定量STEM的分析研究工作。

◇ Viewing Camera系統(tǒng)
  

“NEOARM”標(biāo)配的Viewing Camera系統(tǒng)是以遠(yuǎn)程操控為前提而設(shè)計(jì)的利用雙相機(jī)觀察圖像的系統(tǒng)。此系統(tǒng)允許主機(jī)房和操作間分離，因此能夠靈活地安排操作環(huán)境。電鏡主機(jī)采用的純白色和JEOL銀色在室內(nèi)協(xié)調(diào)美觀，外觀設(shè)計(jì)精煉簡(jiǎn)潔。

*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統(tǒng))
*4 RDS(安裝室分隔式)