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軟X射線分析譜儀
軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了極高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測(cè)，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品規(guī)格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測(cè)試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側(cè)）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側(cè)）
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機(jī)型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
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